Forskjellen mellom tørr og våt etsing

Hovedforskjell - Tørr mot våte etsning

Etsing er i utgangspunktet fjerning av stoffer fra overflater. Ulike etseprosesser er oppfunnet avhengig av materialet som skal fjernes. Våt etsing og tørt etsing er slike prosesser. Våt etsing kan kalles isotropisk etsing. Tørr etsing kan kalles anisotropisk etsing. Disse våte og tørre etseprosessene kan deles videre i henhold til teknikken og andre faktorer som påvirker etsningen. Hovedforskjellen mellom tørr og våt etsing er det tørt etsing gjøres i en væskefase, mens våt etsing gjøres ved en plasmafase.

Nøkkelområder dekket

1. Hva er Dry Etching
      - Definisjon, Teknikk, Programmer, Fordeler og ulemper
2. Hva er Wet Etsning
- Definisjon, Teknikk, Programmer, Fordeler og ulemper
3. Hva er forskjellen mellom tørr og våt etsing
      - Sammenligning av nøkkelforskjeller

Nøkkelbegreper: Anisotrop, Dry Etching, Etsning, Isotrop, Flytende Fase, Plasma Etsing, Plasma Fase, Våt Etsing

Hva er Dry Etching

Tørketaking er prosessen med etsing gjort ved plasmafase. Her forekommer materialfjerningsreaksjonene i gassfasen. Tørk etsing kalles også plasma-etsing. Denne prosessen kan brukes til å skape designede mønstre på overflater. Tørk etsing kan brukes på trykte kretskort. Det er to typer tørt etsing.

1. Ikke-plasmabasert etsning
2. Plasmabasert etsning

Ikke-plasmabasert etsing bruker en spontan reaksjon av en passende reaktiv gassblanding. Den plasmabaserte etsen bruker radiofrekvensenergi til å drive kjemisk reaksjon. I plasmaformasjonen evakueres kammeret og fylles med gass eller gasser. Radiofrekvens er påført. Denne anvendte frekvensen kan akselerere elektronene. Dette resulterer i å øke den kinetiske energien inne i kammeret. Elektroner vil kolloide med nøytrale gassmolekyler. Dette resulterer i dannelse av ioner og flere elektroner. Denne ioniseringen resulterer til slutt i dannelsen av et plasma. (Et plasma er et system som består av like mange kationer og elektroner sammen med nøytrale molekyler.)

Figur 1: Hydrogen Plasma Etseprosess

Fordeler og ulemper

Det er mange fordeler med tørt etseprosess. Det eliminerer behovet for å håndtere farlige kjemikalier. Det bruker små mengder kjemikalier for etsning. En stor fordel er den høye oppløsningen og renheten som kan oppnås ved tørt etsing. Prosessen er også enkel å kontrollere og håndtere. Bortsett fra det, kan tørt etsing lett bli automatisert.

Men det er også noen ulemper. For eksempel er noen gasser som brukes i tørt etsing giftig og etsende. Re-deponering av flyktige forbindelser er et stort problem som oppstår når flyktige forbindelser blir brukt. Denne metoden er ganske dyr fordi spesialutstyr er nødvendig.

Hva er Wet Etsning

Våtete er prosessen med etsing gjort ved væskefase. Kjemikaliene som brukes til etseprosessen kalles etchants. Våt etsing bruker et etisk bad for etsning. Men denne metoden er ikke veldig presis. Det er imidlertid lett å håndtere enn tørre etseprosessen. Det som i utgangspunktet skjer ved våtetsetting er at materialet som skal fjernes, løses ved å nedsenke det i et kjemisk bad.

Figur 2: Kobbersulfatetsning Bath

Fordeler og ulemper

Dette er den enkleste prosessen som kan brukes til etsning. Fordi det bare krever et bad av kjemikalier som en flytende løsning. En ulempe ved denne metoden er imidlertid at et kjemisk bad også kan oppløse de nødvendige materialer på overflaten. Derfor bør et egnet maskeringsmiddel brukes. Ellers skal kjemikalier som langsomt oppløser overflatematerialene (langsommere enn materialene som må fjernes) brukes.

Forskjellen mellom tørr og våt etsing

Definisjon

Tørkesting: Tørketaking er prosessen med etsing gjort ved plasmafase.

Wet Etsing: Våtete er prosessen med etsing gjort ved væskefase.

Fase

Tørkesting: Tørr etsing bruker gassfasekjemikalier.

Wet Etsing: Våt etsing bruker flytende fase kjemikalier.

Sikkerhet

Tørkesting: Tørketaking er mye tryggere enn våtetsing.

Wet Etsing: Våt etsing er ikke trygt siden avhending av farlige kjemikalier kan forårsake vannforurensning.

Presisjon

Tørkesting: Den tørre etseprosessen er mer presis.

Wet Etsing: Den våte etseprosessen er mindre presis.

Kjemisk bruk

Tørkesting: Tørr etsing bruker få kjemikalier.

Wet Etsing: Våt etsing bruker mange kjemikalier.

Koste

Tørkesting: Tørking er dyr fordi spesialutstyr er nødvendig.

Wet Etsing: Våt etsing er ikke veldig dyrt fordi det bare trenger et kjemisk bad.

Konklusjon

Tørr og våt etsing er to hovedtyper av etseprosesser. Disse prosessene er nyttige for fjerning av overflatematerialer og dannelse av mønstre på overflatene. Hovedforskjellen mellom tørt etsning og våtetsetting er at tørt etsing gjøres i en væskefase mens våtetsetting gjøres ved en plasmafase.

referanser:

 1. "Plasmakunnskap: Dry Etching." Dry Etching & Dry Etching vs Wet Etsing, 12. februar 2016, Tilgjengelig her. Tilgang 27 september 2017.
2. "Etseprosesser." Memsnet, tilgjengelig her. Tilgang 27 september 2017.
3. "Etsning (Microfabrication)." Wikipedia, Wikimedia Foundation, 23. juli 2017, Tilgjengelig her. Tilgang 27 september 2017.

Bilde Courtesy:

1. "Hydrogen plasma etsing" Av Pepinpeterkapichler - Eget arbeid (CC BY-SA 4.0) via Commons Wikimedia
2. "Copper sulfate etching bath" Av Ck517 - Eget arbeid (Public Domain) via Commons Wikimedia